检测无尘车间风速和风量的方式

    单向流风速根本稳定，气流方向根本相同，进风口左近的风速与作业面风速差异不大，整个洁净室风速也不大很好，通常能够疏忽风速的均匀性。洁净室关于净化空调体系的加湿问题而言，常用的加湿办法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿办法属等焓加湿过程。

    而喷蒸汽、喷干蒸汽和电（电热）加湿是向空调送风喷蒸汽，其加湿办法属等温加湿进程。无尘室净化工程各级空气洁净度的空气净化处置，均应采用初效、效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处置，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。净化工程指操控产品 （如硅芯片等） 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个杰出的环境空间消费、制造。此环境空间的规划施工进程即可称为净化工程。

    非单向流各部分的风速微风向是不同的。整个无尘车间风速均匀性差。有要思索风速的均匀性。有时需求别离测量各部分的风速。测量风速时，需求预先判别风向，由于一般风速仪的探头具有方向性，所以测量风速时需求辨认风向。

    一种常用的用热球风速计和热球风速计测量风速的办法。热球风速计的灵活度一般较高，但稳定性较差。因此，热球风速计测量的风速应留意药房：检查风速表的外观和作业状况能否正常；在测量风速前纠正风速表的零点方位；测头在校正零方位时应处于无风状况；风速计探头的顶风面在测量风速时应垂直于风向；等候闪现稳定并重新读取；风速计的探头应留神避免接触其他物体。